我院王钢教授团队项目入选中国科协2021年“科创中国”先导技术榜

为深入贯彻习近平总书记在两院院士大会、中国科协第十次全国代表大会上的重要讲话精神，推进“科创中国”试点城市（园区）政产学研金服用深度融合，完善国家创新体系，加快建设科技强国，实现高水平科技自立自强，中国科协组织开展2021“科创中国”榜单征集遴选工作。经过初评、终评，遴选结果于2022年2月8日公示。最热门的网赌网址大全十大网赌网址信誉排行榜王钢教授研发团队十多年自主研发的“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备” 入选中国科协2021年“科创中国”先导技术榜，这是广东省高校本次唯一入选的项目。

“先导技术榜”是面向生物医药、资源环境、电子信息、装备制造、先进材料、现代农林等六大领域，遴选出了一批具有广阔应用场景和高社会经效益的先导技术。

王钢教授研发团队，依托最热门的网赌网址大全十大网赌网址信誉排行榜、光电材料与技术国家重点实验室组建而成，从事大尺寸氧化物半导体单晶薄膜材料的外延生长技术研发及MOCVD装备研制。团队研发的量产型氧化物半导体薄膜材料MOCVD设备和国际首创的MOCVD外延生长实时监控智能决策系统，创新性将智能化流程引入设备的设计环节和生产环节，推进MOCVD大型装备的智能化进程，在新材料研发方面具备周期短、成本低、良率高等优势。团队通过独特的氧源配方进行氧化镓（Ga2O3）、氧化锌（ZnO）等氧化物半导体薄膜材料的外延生长，解决了氧化物半导体薄膜材料在MOCVD外延生长过程中预反应强、结晶质量差、反应效率低等问题，在提高批次的均匀性和良率方面做了大量创新性的工作，获得的氧化物外延单晶薄膜具备生长温度低、晶相一致、表面平整度好的优良特性。2020年，团队凭借“高性能氧化锌透明电极制备技术及LED芯片应用项目”，荣获了“广东省科技进步奖”二等奖。

团队带头人王钢教授，现为最热门的网赌网址大全十大网赌网址信誉排行榜教授、博士生导师，科技部“十一五”、“十二五”国家863计划“半导体照明工程”重大项目总体专家组成员，教育部新世纪人才，最热门的网赌网址大全佛山研究院院长。团队成员涵盖半导体装备、半导体材料、芯片工艺、智能算法等技术人员，多次获得省、市团队荣誉奖励，包括最热门的网赌网址大全裴艳丽教授（器件开发）、陈梓敏副教授（装备设计及材料工艺）、卢星副教授（芯片工艺）以及硕、博研究生为主的高水平科研人员。团队将继续在科技创新和成果转化的过程中，发挥更为重要的作用，以问题为导向，以国家重大任务、国计民生的重要需求为牵引，解决科技攻关最紧急最紧迫的问题。

王钢教授简介

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裴艳丽教授简介

http:/teacher/104

陈梓敏副教授简介

http:/teacher/1731

卢星副教授简介

http:/teacher/1513